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AFM在LED Chip表面缺陷的應用

2016-04-25  瀏覽量:518

【摘要】本文通過AFM的面掃描,以及高精度的尺寸測量功能,準確的分析五十路表面孔洞的尺寸和深度,為產品質量提供快捷有效的證據。

 

【關鍵詞】 LED,失效分析,AFM

 

1. 引言

該LED Chip在生產完成後,發現表面存在異常,後續用SEM觀察到表面有孔洞缺陷,但SEM無法測試其深度,為幫助查找其缺陷形成的原因,需測量其孔洞深度及表面粗糙度。

 

失效分析

圖1. 孔洞SEM觀察圖

 

2. 試驗與結果

 

失效分析

圖2. 孔洞深度測試圖

 

失效分析

圖3. 正常位置粗糙度測試圖

 

失效分析

圖4. 異常位置粗糙度測試圖

 

3. 結論

根據AFM測試結果,樣品表面異常凹坑深度為16.2nm,異常區域粗糙度為0.2nm,正常區域粗糙度為0.106nm,孔洞處於異常位置的中間。

 

*** 以上內容均為原創,如需轉載,請註明出處 ***

 

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